Deli iz titana za polprevodnike

1. Ultra-nadzor sproščanja nečistoč

V proizvodnem procesu uporabljamo shemo obdelave keramičnih orodij + orodja brez -železa. Vsi pomožni materiali, ki so v stiku z obdelovancem, so podvrženi trem krogom čiščenja s kislinskim pranjem, pri čemer se strogo nadzoruje skupna vsebnost železa, kroma itd., da je znotraj 0,02 %. S tem se popolnoma izognemo običajnemu problemu kontaminacije s kovinskimi ioni v polprevodniških procesih in preprečimo nastajanje odvečnih kovinskih ostankov na površini rezine. Zmanjšuje tveganje kratkega stika v tokokrogu s strani materiala.

 

2. Dolgotrajna-odpornost proti koroziji

Ko je del oblikovan, bo podvržen dvema različnima koncentracijama potopitve v šibko oksidacijsko raztopino za pasivacijo. Na površini se bo ustvaril enoten 8-10nm debel zaščitni film iz titanovega dioksida. Tudi če je v procesu čiščenja polprevodnikov 2000 ur neprekinjeno izpostavljen razredčenim raztopinam fluorovodikove kisline in mešanici dušikove kisline, ne bo prišlo do ločevanja lukenj in ostankov, ki bi opraskali površino rezin.

 

3. Visoko{1}}natančna dimenzijska stabilnost

Med predelavo celoten proces uporablja razpršilo s tekočim dušikom za stalno kontrolo temperature, ki nadzoruje deformacijo, ki nastane med obdelavo znotraj 0,003 mm. Preden zapustijo tovarno, končni izdelki opravijo 24-urne ciklične preskuse pri visokih in nizkih temperaturah. Tudi pri dolgotrajnem delovanju v polprevodniškem procesnem okolju pri 180 stopinjah ne bo prišlo do deformacijskega motenja in deformacijskega oprijema. Ni potrebe po pogostem razstavljanju in prilagajanju natančnosti poravnave.

 

4. Nizka stopnja izpušnih plinov, primerna za vakuumsko okolje

Vsi deli so najprej izpostavljeni 120-stopinjskemu vakuumskemu pečenju 48 ur za razplinjevanje. Vodna para in drobni delci, adsorbirani na površini, so popolnoma odstranjeni. Po namestitvi v polprevodniško vakuumsko komoro lahko pomaga opremi doseči ciljno stopnjo vakuuma 25 % hitreje kot pri uporabi običajnih delov iz nerjavečega jekla, kar zmanjša izgubo časa zaradi čakanja na vakuumsko črpanje.

1. Pladenj za rezine za PVD stroj za parno nanašanje

Uporablja se za podporo silikonske rezine, ki jo je treba premazati. V visoko{1}}temperaturnem okolju razprševanja ciljnega materiala titanov del ne bo reagiral s plinom za razprševanje in ne bo sprostil odvečnih nečistoč v komoro, kar lahko izboljša enakomernost plasti kovinskega filma, nanešenega na površino rezine, za 5 %, s čimer se izognemo težavi puščanja ostružkov, ki ga povzroča nezadostna debelina kovinske plasti. Primeren je za zahteve proizvodnje premazov pri 28n in nižjih procesih.

 

2. Stojalo za vaflje za stroj za mokro čiščenje

Pri standardnem postopku čiščenja RCA je stojalo v celoti potopljeno v močne kisline in močne alkalne čistilne raztopine. Titanov material ne bo korodiral in ne bo proizvajal ostankov ter se ne bo oprijel površine rezin, da bi povzročil kontaminacijo z delci. Zmanjša lahko stopnjo napak delcev pri čiščenju enoserijskih rezin za 12 %. Hkrati lahko lahka značilnost stojala tudi zmanjša obremenitev prenosa čistilnega stroja in zmanjša porabo energije opreme.

 

3. Sedež za fiksiranje elektrod za stroj za ionsko implantacijo

Uporablja se za pritrditev visoko{0}}napetostnih elektrod v stroju. Ne-magnetna lastnost titana ne bo motila poti ionskega žarka, kar omogoča nadzor globinskega odstopanja ionske implantacije v zelo majhnem območju, s čimer se izognemo problemu neenakomernega vbrizgavanja odmerka v lokalnem območju rezine. Bistveno izboljša doslednost električne zmogljivosti čipa.

 

4. Konektorska prirobnica za polprevodniški vakuumski cevovod

Povezovanje različnih delov vakuumskega cevovoda stroja. Nizka stopnja izpušnih plinov titana lahko vzdržuje visoko-čisto vakuumsko okolje znotraj cevovoda in ne bo povzročila nihanj v stopnji vakuuma zaradi sproščanja plina navadnih prirobnic iz nerjavečega jekla po dolgotrajni-rabi. Zmanjša število alarmov za zaustavitev stroja, ki jih sprožijo nepravilnosti v vakuumu, in podaljša čas neprekinjenega delovanja proizvodne linije za 30 %.

1. Prilagajanje ne-standardnih dimenzij

Z lastnim 5-osnim obdelovalnim centrom lahko prilagodimo dolžino, širino in višino delov glede na namestitveni prostor kupčeve obstoječe polprevodniške opreme. Stranki ni treba spreminjati vmesnika opreme, prvi vzorec pa je mogoče dostaviti v 7 dneh.

 

2. Prilagajanje stanja površine

Po želji lahko izberete dve metodi površinske obdelave: zrcalno poliranje in mat peskanje. Primerni so za različne zahteve glede čistoče v proizvodnem procesu in se lahko izognejo oprijemu delcev, ki vpliva na okolje proizvodnje polprevodnikov.

 

3. Prilagajanje posebnih vmesnikov

Posebne strukture, kot so posebne reže za kartice in luknje za pozicioniranje, je mogoče prilagoditi tako, da popolnoma ustrezajo zahtevam sestavljanja opreme,-ki jo je razvila stranka. Dodatnih komponent adapterja ni treba dodati.

Postavka	Specifikacija
Ime izdelka	Deli iz titana za polprevodnike
Material	Čisti titan (razred 2), titanova zlitina (razred 5 Ti-6Al-4V)
Proizvodni proces	CNC obdelava, struženje, rezkanje, brušenje, varjenje
Razpoložljive oblike	Plošča, obroč, cev, palica, blok, deli po meri
Dimenzije	Prilagojeno glede na risbe ali vzorce
Strpnost	Do ±0,01 mm
Površinska obdelava	Polirano, peskano, luženo, anodizirano, natančno obdelano
Površinska hrapavost	Ra 0,2–1,6 μm (na voljo po meri)
Čistost	Do 99,6 % (titan stopnje 2)
Delovna temperatura	Do 400 stopinj
Gostota	4,51 g/cm³
Trdota	Stopnja 2: HB 145–200; 5. razred: HRC 30–36
Odpornost proti koroziji	Odlična odpornost na kisline, alkalije in procesne kemikalije
Kemijska združljivost	Primerno za polprevodniške kemikalije in okolja ultra{0}}visoke čistosti
Inšpekcija	Dimenzijski pregled, certificiranje materiala, površinski pregled

 

 

 

Priljubljena oznake: deli iz titana za polprevodnike, Kitajska deli iz titana za polprevodnike proizvajalci, dobavitelji, tovarna